第354章 胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙(1 / 1)

第354章胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风(第1/2页)

两人说话的时候。

核心专家组的众人目光,也都带着几分期许聚焦在了林决身上。

按理说.....

这种事情是不该就指望林决一个人来的。

要不然的话,不显得他们没用了吗?

但是吧......话又说回来了。

目前为止,林教授的方案完全没毛啊!

确实比他们提供的好太多了!

特别是林氏函子光学变式,在测试中的表现,完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知!

紧接着,众人便见台上的林决轻轻一笑,

“确实。”

闻言,陈望山不由得笑了出来。

至于房怀年几人,则是满脸讶异。

这小子......还真他娘是个人才啊!

整机闭环没跑完,你也敢提前做优化方案?

万一中间有超出预料的事情发生,那你不白干了吗?

不过.....

他们不知道的是,林决早已经通过胡老的手稿,在脑海中做过工程预演。

虽然最后他推演出来的数据,会和现实数据有着一定误差。

但却能够清晰的看到问题在哪里......

之后。

等整机闭关流程结束。

只需要通过相应的数据,再进行调整的就行。

两边同时进行。

还能够省下一部分时间。

当初面对胡闻洲时,他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。

所以必须争分夺秒了。

而现在。

整机跑完,结果出来。

果然......

由于映射输出端的频率太快,在高电压情况下光路产生偏振,误差也就随之增大了......

在得到林决回答后,卢敬尧立马好奇问着,

“用的什么方法,压频率还是降电压?亦或者通过控制曝光来解决?”

林决轻轻一笑,当即给否了,“都不选。”

“???”

“???”

“???”

蒋墨侧过头看着他,又是好奇又是疑惑,

“都不选?那你想干啥?”

按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。

目前只能调控这三个变量,然后再根据整机环境,慢慢做进一步调整。

林决平静开口,

“我们花了二十多天,把误差从1.2压到0.18,现在又为了高电压下的稳定性,再退回去吗!?

我不想这样做......”

会议室安静下来。

所有人目光放在林决身上。

于志明皱眉,

“那您的意思是......”

林决并未回答。

只是在电脑打开一个文档,然后将把132路的驱动时序图调了出来。

此时大屏幕上,无数表示着方波的红点全挤在一处。

“你们看,132路同时跳会如何呢?”

他点了下鼠标,旁边弹出三行数据。

【电源瞬时跌落:4.3%】

【通道间串扰:2.1%】

【镜面局部应力:增大】

“在这种情况中,串扰和镜面局部应力增大,会导致双折射出现,然后产生偏振,出现误差。”

蒋墨想了想,也提出想法,“那要不将电压器错开呢?”

陈望山很快便摇了摇头,

“不行......错开只能解决电源和串扰,解决不了应力,因为应力是叠加态,就算错开,总应力依旧存在。”

房怀念笑道,

“老陈说得对,这方面蒋墨你不是专家,还是别提意见了。”

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蒋墨有点恼火的翻了个白眼,不过还是闭嘴,不再多言。

紧接着。

在众人目光中。

林决将原本的画面切掉,新的优化方案出现在众人眼前.......

“好了,大家先看这个......”

........

同一时刻。

协和病房。

胡闻洲独自靠在病床上,看着眼前电脑上的电压排布,眉头不由皱起。

前几天。

当他听说实验室已经开始整机流程后,便也在同步做着模型改进.....

而现在他看到,在整个模型跑完后,当电压达到某个临界值时,会反馈到镜面局部应力增大上。

按照经验。

他几乎是下意识判断出来,这种变化,最后会导致波前误差增大。

“光机所的设备会压不住模型输出端的变化?林决的模型竟然能优秀到这种程度吗?”

虽然有些难以置信。

但看着电脑上显示的结果,胡闻洲还是不由得失笑摇头。

与此同时。

他心中也默默打算。

得在中午吃饭的时候,跟所里说说这个情况。

“至于改进方案......”

“从整套流程来看,可以从输出频率出发,然后再通过降电压和控制曝光,将这三个指标控制在相对稳定的状态......”

“但如此一来。”

“原本可能达到0.15nmRMS的精度,只能稳定在0.20左右了。”

“不过,即使是这个数据,林决也做得足够好了......

拥有0.20nmRMS精度的指标,再通过多重曝光,应该已经可以造成7nm以内的芯片。

就算不能量产,那也是巨大的进步了。”

能在一个月内,就将光机所研究了许多年的多层膜问题解决,已经足够说明林决的潜力。

至于更进一步。

胡闻洲笑着摇头,

“总不能光靠林决,就想着把产业链代差问题也搞定了吧?”

........

中午的时候。

胡闻洲给黄所那边打了个电话过去。

然后得到消息是.....核心专家组正在开会。

具体一点,是发现整机流程中,出现了波前误差偏振问题,在高电压下,极限误差会来到0.24nmRMS。

“果然如此吗?”

胡闻洲没有一点意外,

“这样吧,你让老陈开完会给我打个电话。”

说着,他看了看电脑上的方案初步构想,

“就说波前误差解决的方法,我有点想法要跟他交流交流。”

“行......”

........

下午三点半。

陈望山的电话打到了胡闻洲手机上。

“老胡,你有事找我?”

电话中,陈望山一边吃着午饭,一边问着。

“是的,我听说所里第一次整机闭环流程出了点问题?”

“哦,你说那个啊,林决已经解决了啊,我们明天就开始改。”

“啊!?”

胡闻洲一时愣在原地。

看了看电脑上方案初稿。

这只是他的一个想法而已,而且还要花许多时间,才能补充完整,然后再进行推进的。

但现在呢?

陈望山说他们已经解决了!?

“对!林决的想法非常妙,核心专家组在听完后,全体一致通过!现在黄所那边,估计已经在签字了吧。”

胡闻洲愣在原地,张了张嘴,想说什么却说不出来。

回旋镖来得太快就像龙卷风啊.....